半导体制造业空气污染管制及排放标准｜第 6 条｜大气环境｜法规｜生效中
环境部｜v1.0
最后修订: 2023-05-04
挥发性有机物、三氯乙烯、硝酸、硫酸、盐酸、磷酸、氢氟酸等之纪录、保存与申报规定如下： 一、空气污染物输入量（以溶剂或其他型式输入制程之量）、输出量（随废溶剂、废弃物、废水或其他型式输出制程之量）、污染防制设备削减量等数据应每月记录。 二、污染防制设备为酸碱洗涤吸收设施者，应记录保养维护事项，并每日记录各洗涤槽洗涤循环水量及pH值。 三、污染防制设备为清水洗涤吸收设施者，应记录保养维护事项，并每日记录各洗涤槽洗涤循环水量及废水排放流量。 四、污染防制设备为冷凝器者，应每月记录冷凝液量及每日记录冷凝器出口温度。 五、污染防制设备为生物处理设施者，应记录保养维护事项，以确保该设施之状态适合生物生长代谢，并每日记录处理气体风量、进口温度及出口相对湿度。 六、污染防制设备为热焚化炉者，应每日记录燃烧温度。 七、污染防制设备为触媒焚化炉者，应记录触媒种类、触媒床更换日期，并每日记录触媒床进、出口气体温度。 八、以其他污染防制设备处理者，应记录保养维护事项，并每日记录主要操作参数。 九、应设置流量计及浓度监测器者，其流量及浓度监测结果应根据前次比测结果修正后计算排放削减率及排放量，并每日记录小时平均值及日平均值。 十、前九款之纪录需以电子化方式保存备查至少六年，并依中央主管机关规定之格式于每年一、四、七、十月月底前向当地主管机关申报上一季之纪录。主管机关得适时调整申报内容及频率。