半导体制造业空气污染管制及排放标准｜第 4 条｜大气环境｜法规｜生效中
环境部｜v1.0
最后修订: 2023-05-04
半导体制造业产生之空气污染物应经密闭集气系统收集，并应符合下表规定后始得排放： 前项硝酸、盐酸、磷酸、氢氟酸及硫酸等排放之废气，因安全之虞而无法证明符合前项标准时，应检具相关证明文档佐证具备同等处理效果或较优之控制条件，向直辖市、县（市）主管机关申请替代认可。