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半导体制造业空气污染管制及排放标准-第 3 条

半导体制造业空气污染管制及排放标准｜第 3 条｜大气环境｜法规｜生效中

环境部｜v1.0

最后修订: 2023-05-04

内容

本标准适用于半导体制造业。但半导体制造业原（物）料年用量小于下表所列者，该项物质不适用本标准之规定：

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