半导体制造业空气污染管制及排放标准｜第 5 条｜大气环境｜法规｜生效中
环境部｜v1.0
最后修订: 2023-05-04
依前条规定收集之废气，于污染防制设备之废气导入处或排放管道排放口应设置流量计及浓度监测器，其设置规定如下： 一、适用本标准之半导体制造业均应设置流量计。 二、挥发性有机物原（物）料年用量大于二十五吨或工厂总排放量大于每小时零点六公斤者，属既存制程其挥发性有机物排放大于十四ppm或属新设制程其挥发性有机物排放大于十ppm之排放管道，应设置挥发性有机物浓度监测器证明符合本标准排放削减率。既存制程与新设制程合并设置排放管道者，以新设制程之设置规定认定之。 三、流量计及浓度监测器之有效每季监测率应大于八十％，每年至少以标准检测方法比测一次，比测时间每次至少二小时，所设置之流量计及浓度监测器所得之结果应以上次比测结果修正之。 未能依前项规定设置流量计及浓度监测器之排放管道，公私场所得提出其他可证明其排放污染物符合前条排放标准规定之替代方案，报请直辖市、县（市）主管机关同意后，不在此限。